Při hydrolýze se nemění oxidační stupeň prvků v hydrolyzované látce. Zde je ale vazba Si-F silnější než vazba Si-O, proto se i v přebytku vody vazba Si-F udrží a
produkty obsahují vedle SiO2 i částice
SiF62-
. Srovnejte s BCl3 + H2O a BF3 + H2O a podle nich sestavte rovnici hydrolýzy
SiCl4
.
1. krok (ze 6): Reakcí fluoridu křemičitého a vody vzniká kyselina hexafluorokřemičitá a oxid křemičitý.